Die Firma SCHNECKE elektronik hat besondere Erfahrungen mit nachfolgenden speziellen Leiterplatten und Platinen der Firma IonTech.
Leiterplatten und Platinen der Firma IonTech
IonTech RF2070
Hersteller:
IonTech
Bauteil:
Neutralizer RF Power Supply
Artikel- / Model-Nr.:
RF2070
42706
Beschreibung:
Das IonTech RF2070 Neutralizer RF Power Supply ist eine spezialisierte Hochfrequenz-Stromversorgung zur Ansteuerung eines RF-Neutralizers in ionenbasierten Prozesssystemen, wie sie beispielsweise in der Dünnschichttechnik oder bei Ionenstrahlanlagen eingesetzt werden. In solchen Anwendungen dient der Neutralizer dazu, Elektronen bereitzustellen, um die durch den Ionenstrahl entstehende positive Ladung zu kompensieren und so Oberflächenaufladung, Lichtbögen und Prozessinstabilitäten zu vermeiden. Das RF2070-Modul erzeugt und regelt die erforderliche HF-Leistung für den Neutralizer und ist typischerweise Bestandteil eines modularen IonTech-Systems, das über eine zentrale Steuerungseinheit betrieben und auch fernüberwacht werden kann. Durch seine Auslegung für den Dauerbetrieb gewährleistet es eine stabile Elektronenemission und trägt entscheidend zur Prozessqualität, Reproduzierbarkeit und Anlagenverfügbarkeit bei.
Galerie: Leiterplatten und Platinen der Firma IonTech
Spezifische Beschreibungen
IonTech Neutralizer RF Power Supply RF2070
IonTech RF2070 Neutralizer RF Power Supply
Das IonTech RF2070 Neutralizer RF Power Supply (entwickelt von Veeco Instruments / Ion Tech) ist ein spezialisiertes Hochfrequenz-Netzteil, das primär in Ionenstrahl-Depositionssystemen für die Dünnschichttechnologie eingesetzt wird etwa in der Halbleiterfertigung, der Optikbeschichtung sowie in der Forschung und Entwicklung. Das RF2070 dient dabei als Neutralisator-Stromversorgung und ist Bestandteil des Gesamtsystems aus Ionenquelle, RF-Neutralisator (RFN) und zugehöriger Steuereinheit. Technisch versorgt das Gerät den RF-Neutralisator mit der notwendigen Hochfrequenzleistung, um Elektronen zu erzeugen, die den aus der Ionenquelle austretenden positiv geladenen Ionenstrahl ladungsmäßig kompensieren. Diese Elektronen bewirken eine Raumladungsneutralisation des Ionenstrahls, sodass Substrate und Targets vor Beschädigungen durch Lichtbogenentladungen oder elektrostatische Aufladung geschützt werden. Der RF-Neutralisator ist in der Lage, Elektronenströme von bis zu 900 mA bereitzustellen und kann sowohl im gekoppelten Betrieb mit einer RF-Ionenquelle als auch als autarke Elektronenquelle eingesetzt werden.
Aufgrund dieser Betriebsflexibilität und Leistungsfähigkeit kommt dem RF2070 eine zentrale Bedeutung innerhalb von Ionenstrahl-Beschichtungssystemen zu. Insbesondere ist das System als sicherheits- und qualitätsrelevante Schlüsselkomponente zu bewerten, da es maßgeblich zur Gewährleistung der Prozessstabilität, zur Sicherung einer gleichbleibend hohen Schichtqualität sowie zur Vermeidung betrieblicher Störungen und Gefährdungen beiträgt.
Haftungsausschluss und Disclaimer
Die auf dieser Plattform bereitgestellten Informationen zu allen technischen Produkten, Anlagen und Systemen dienen ausschließlich allgemeinen Informationszwecken. Sämtliche Inhalte wurden nach bestem Wissen und Gewissen erstellt, jedoch übernehmen wir keinerlei Gewähr für die Aktualität, Richtigkeit, Vollständigkeit oder Qualität der bereitgestellten Informationen. Haftungsansprüche gegen den Autor oder die Plattformbetreiber, die sich auf Schäden materieller oder ideeller Art beziehen, welche durch die Nutzung oder Nichtnutzung der dargebotenen Informationen bzw. durch die Nutzung fehlerhafter und unvollständiger Informationen verursacht wurden, sind grundsätzlich ausgeschlossen, sofern seitens des Autors kein nachweislich vorsätzliches oder grob fahrlässiges Verschulden vorliegt.
Arbeiten an elektrischen Betriebsmitteln sind mit erheblichen Gefahren für Leib und Leben verbunden.
Alle genannten Produkt- und Firmennamen, Markenzeichen, Logos und eingetragenen Warenzeichen sind Eigentum ihrer jeweiligen Rechteinhaber. Die Nennung von Markennamen, Produktbezeichnungen oder Herstellernamen dient ausschließlich der Identifikation und stellt keine Verletzung von Markenrechten dar. Bitte beachten Sie auch den ergänzenden Haftungsausschluss im Impressum.